【恒运昌】半导体射频电源国产替代加速,先进制程+核心客户双轮驱动 🍬恒运昌核心看点在于射频电源及匹配器国产替代进入加速期。公司2026H1自研产品收入占比已提升

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【恒运昌】半导体射频电源国产替代加速,先进制程+核心客户双轮驱动

🍬恒运昌核心看点在于射频电源及匹配器国产替代进入加速期。公司2026H1自研产品收入占比已提升至87%,核心产品覆盖射频电源、匹配器、远程等离子体源及射频离子源,占单台半导体设备bom占比平均约12%-15%,部分高腔体设备最高可达20%,甚至更高。 公司产品随腔体, 制程, 功率通胀,目前国产化率不足12%,公司在国内格局非常好,市占率60%以上。

🍬核心优势是“先发验证+先进制程持续迭代”。公司2013年开始自研射频电源、2018年切入半导体,经过多年正向研发,目前第三代S系列射频电源+V系列匹配器已经覆盖7-14nm先进制程并实现大规模量产,技术参数已基本达到海外龙头同等水平;第四代Setup一体式射频电源系统进一步面向5nm及以下制程,2026H1已进入小批量试产并取得设备商验证订单,。随着先进制程设备向更高频率、更快响应、更高精度方向升级,射频电源及匹配器单机价值量有望持续提升。

🍬客户卡位是另一大核心变量。公司已经形成以拓荆、中微、北方华创、微导纳米、屹唐等国内头部设备商为核心的客户矩阵,且产品从PECVD、LPCVD、清洗去胶、键合等环节持续拓展。

🍬拓荆截至2026H1累计验证产品43款,其中16款已实现百万级收入、19款达到千万级收入;中微已有2款千万级、7款百万级出货产品。射频电源零部件需要经过设备商及晶圆厂双重验证,验证周期长、切换成本高,且设备商通常不会在同一机台同时验证大量供应商,因此一旦完成验证并进入量产,客户粘性和份额提升空间较大。

🍬公司当前满产产能约1.1万台,2026年预计约1.2万台,沈阳基地爬坡后将进一步释放产能,现有园区新增场地完全达产后规划产能约1.5万台。值得关注的是,H1自研产品占比提升带动毛利率改善,后续伴随产能释放及高毛利自研产品占比继续提升,利润弹性值得跟踪。

🍬当前三条验证线均超预期: ①第四代5nm及以下产品验证及量产进度; ②拓荆、中微、北方华创等核心客户新产品导入及订单兑现超预期;③沈阳基地产能爬坡及高毛利自研产品占比提升带来的盈利弹性。

总体总结

主题正文

  1. 公司2026H1自研产品收入占比已提升至87%,核心产品覆盖射频电源、匹配器、远程等离子体源及射频离子源,占单台半导体设备bom占比平均约12%-15%,部分高腔体设备最高可达20%,甚至更高。
  2. 公司2013年开始自研射频电源、2018年切入半导体,经过多年正向研发,目前第三代S系列射频电源+V系列匹配器已经覆盖7-14nm先进制程并实现大规模量产,技术参数已基本达到海外龙头同等水平;
  3. 第四代Setup一体式射频电源系统进一步面向5nm及以下制程,2026H1已进入小批量试产并取得设备商验证订单,。
  4. 公司已经形成以拓荆、中微、北方华创、微导纳米、屹唐等国内头部设备商为核心的客户矩阵,且产品从PECVD、LPCVD、清洗去胶、键合等环节持续拓展。
  5. 射频电源零部件需要经过设备商及晶圆厂双重验证,验证周期长、切换成本高,且设备商通常不会在同一机台同时验证大量供应商,因此一旦完成验证并进入量产,客户粘性和份额提升空间较大。
  6. 🍬公司当前满产产能约1.1万台,2026年预计约1.2万台,沈阳基地爬坡后将进一步释放产能,现有园区新增场地完全达产后规划产能约1.5万台。
  7. 值得关注的是,H1自研产品占比提升带动毛利率改善,后续伴随产能释放及高毛利自研产品占比继续提升,利润弹性值得跟踪。
  8. ②拓荆、中微、北方华创等核心客户新产品导入及订单兑现超预期;