⭕【MFC产业链】海外交期半年以上,国产替代斜率陡峭 🥇【21号】中信建投电新 1️⃣ 什么是MFC:MFC即质量流量控制器(Mass Flow Control

图片

无图片

正文

⭕【MFC产业链】海外交期半年以上,国产替代斜率陡峭 🥇【21号】中信建投电新

1️⃣ 什么是MFC:MFC即质量流量控制器(Mass Flow Controller),主要用于刻蚀、薄膜沉积设备气体控制系统,直接决定其工艺精度和良率, MFC占半导体设备价值量约2%,单价1.2-3万元/颗不等,2025年国内MFC市场规模约50-60亿元。

2️⃣ 日美绝对垄断且交期不断拉长、国产替代提速。竞争格局方面,目前国内MFC市场中,日本Horiba占比约 60%,美国MKS占比约20%,其余为日本Brooks、Fujikin,国内厂商中仅高凯技术、七星华创进展较快,先进制程领域几乎为零。 目前MFC厂商日本Horiba交货周期已接近1年,2025年MFC国产化率不足3%,预计26年将加速来到10%,27年进一步加速。

3️⃣ 相关标的: 【高凯技术】MFC国产替代龙头,2021年做出国内首款半导体级压电式 MFC,打破日美垄断;已批量应用于 7nm 及以下先进制程前道设备;目前订单增速乐观, 交期排至半年以上,正加大力度解决供应链产出瓶颈,实现国产替代。

【XYCZ】压电陶瓷占MFC成本比重40%,收购 邦瓷电子为高凯独家供应商。压电陶瓷是唯一可实现毫秒级响应、微米/纳米/亚纳米级位移的方案,是高精度控制+腔体带载场景的最优选择, 也是目前限制MFC放量的核心材料,目前主要被京瓷等垄断。

其他标的【北方华创(子公司华丞电子)】、【万讯自控(Brooks系压差式 首发公众号:思维纪要社 MFC】、【先导基电】等

总体总结

主题正文

  1. ⭕【MFC产业链】海外交期半年以上,国产替代斜率陡峭 🥇【21号】中信建投电新
  2. 1️⃣ 什么是MFC:MFC即质量流量控制器(Mass Flow Controller),主要用于刻蚀、薄膜沉积设备气体控制系统,直接决定其工艺精度和良率, MFC占半导体设备价值量约2%,单价1.2-3万元/颗不等,2025年国内MFC市场规模约50-60亿元。
  3. 竞争格局方面,目前国内MFC市场中,日本Horiba占比约 60%,美国MKS占比约20%,其余为日本Brooks、Fujikin,国内厂商中仅高凯技术、七星华创进展较快,先进制程领域几乎为零。
  4. 目前MFC厂商日本Horiba交货周期已接近1年,2025年MFC国产化率不足3%,预计26年将加速来到10%,27年进一步加速。
  5. 【高凯技术】MFC国产替代龙头,2021年做出国内首款半导体级压电式 MFC,打破日美垄断;
  6. 目前订单增速乐观, 交期排至半年以上,正加大力度解决供应链产出瓶颈,实现国产替代。
  7. 压电陶瓷是唯一可实现毫秒级响应、微米/纳米/亚纳米级位移的方案,是高精度控制+腔体带载场景的最优选择, 也是目前限制MFC放量的核心材料,目前主要被京瓷等垄断。
  8. 其他标的【北方华创(子公司华丞电子)】、【万讯自控(Brooks系压差式 首发公众号:思维纪要社 MFC】、【先导基电】等