🔹光罩基板是半导体光刻工艺的核心耗材。随着技术从 DUV 转向 EUV，EUV 光罩基板市场规模已超越 DUV，约占整个光罩基板市场的三分之二。 🔹2025 年
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🔹光罩基板是半导体光刻工艺的核心耗材。随着技术从 DUV 转向 EUV，EUV 光罩基板市场规模已超越 DUV，约占整个光罩基板市场的三分之二。 🔹2025 年全球光罩基板总市场规模约 13 亿美元，预计 2028 年将增至 22 亿美元，CAGR 为 19%，。 🔹增长驱动力一：AI ASIC 趋势导致芯片设计数量激增。当前每家云服务提供商和 AI 公司都在自研 GPU、CPU 和 AI 加速器，先进逻辑节点的芯片设计数量在 2025‑2028 年 CAGR 达 21%。。 🔹增长驱动力二：EUV 层数量持续增加。先进制程节点的 EUV 层数量从当前 20 多层升至 1nm 的约 30 层，直接拉动每块芯片所需的光罩基板数量。 🔹在上述双重驱动下，EUV 光罩基板出货量预计从 2025 年的 1.75 万片增至 2028 年的 3 万片，CAGR 为 19%。
🔹EUV 光罩基板本身已是高价值产品，单价接近 50 万美元，是 DUV 光罩基板的 100 倍。其制造复杂度极高，需约 50 层涂层构成的反射式多层镜面结构，缺陷控制要求严苛。 🔹技术升级路径一：相移掩模。在 2nm 节点之前，EUV 掩模主要为二元掩模。随着特征尺寸缩小，相邻反射光波干涉会降低图案对比度，行业开始引入相移层来改善图像对比度。。相比传统二元 EUV 掩模，相移掩模的 ASP 预计高出 20%‑30%，且已从 2nm 量产阶段开始渗透。 🔹技术升级路径二：High‑NA EUV。High‑NA 预计在 2027‑2029 年用于 DRAM 和前沿逻辑节点，分辨率提升约 70%。这需要新一代 EUV 掩模，采用新的吸收层材料和设计，规格更高、制造更复杂，ASP 高于相移掩模。。 🔹受相移掩模升级和 High‑NA EUV 采用推动，EUV 光罩基板 ASP 在 2025‑2028 年预计以中双位数 CAGR 增长。
🔹豪雅与 AGC 垄断 EUV 光罩基板市场，豪雅份额超 70%，在台积电、三星、SK 海力士占据主导；AGC 历史上在英特尔占优。。 🔹光罩基板业务贡献豪雅 IT 部门收入的 40% 和营业利润的 51%，占整体利润的 33%。随着该业务增速更快且利润率更高，预计其对 IT 部门利润的贡献在 FY29/3 将升至 55%。 🔹财务预测更新：豪雅的 EUV 光罩基板收入增速预期从 FY26/3‑29/3 的 21% CAGR 上调至 28% CAGR。总营收预测在 FY28/3E‑FY29/3E 上调 4%‑5%，营业利润上调 4%‑7%。。 🔹关键下行风险：技术迁移放缓影响 EUV 光罩基板需求；HDD 需求周期性波动；汇率不利变动。
🔹激光科技是 ABICS 的唯一供应商，已推出 E120 和 E320 平台以支持先进节点和未来 High‑NA EUV 需求。在 EUV 图案化光罩检测领域，其 ACTIS 也是独家供应。 🔹尽管 EUV 光罩检测的收入贡献目前有限，但主要上行空间仍来自 ACTIS 和 MATRICS 等图案化光罩检测平台。。 🔹目标价 54000 日元基于 40 倍 Q5‑Q8 预期 EPS，维持 “跑赢大盘” 评级。 🔹关键下行风险：台积电晶圆厂采用 actinic 检测的速度慢于预期；EUV 光刻需求弱于预期；竞争对手进入市场延迟；汇率不利变动。
🔹AI ASIC 的爆发不仅直接利好晶圆代工和芯片设计公司，其 “隐藏的赢家” 还包括上游半导体材料和检测设备。。 首发公众号：思维纪要社
总体总结
主题正文
- 🔹2025 年全球光罩基板总市场规模约 13 亿美元，预计 2028 年将增至 22 亿美元，CAGR 为 19%，。
- 当前每家云服务提供商和 AI 公司都在自研 GPU、CPU 和 AI 加速器，先进逻辑节点的芯片设计数量在 2025‑2028 年 CAGR 达 21%。
- 🔹在上述双重驱动下，EUV 光罩基板出货量预计从 2025 年的 1.75 万片增至 2028 年的 3 万片，CAGR 为 19%。
- 相比传统二元 EUV 掩模，相移掩模的 ASP 预计高出 20%‑30%，且已从 2nm 量产阶段开始渗透。
- High‑NA 预计在 2027‑2029 年用于 DRAM 和前沿逻辑节点，分辨率提升约 70%。
- 🔹受相移掩模升级和 High‑NA EUV 采用推动，EUV 光罩基板 ASP 在 2025‑2028 年预计以中双位数 CAGR 增长。
- 🔹光罩基板业务贡献豪雅 IT 部门收入的 40% 和营业利润的 51%，占整体利润的 33%。
- 随着该业务增速更快且利润率更高，预计其对 IT 部门利润的贡献在 FY29/3 将升至 55%。