上海新阳最新调研：公司化学机械研磨液产品覆盖14nm及以上技术节点，产品性能持续 优化，产品存放稳定性和表面粗糙度指标稳步提升，STI slurry、Poly
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上海新阳最新调研：公司化学机械研磨液产品覆盖14nm及以上技术节点，产品性能持续 优化，产品存放稳定性和表面粗糙度指标稳步提升，STI slurry、Poly slurry、W slurry、Oxide slurry等系列产品在头部客户端测试验证顺利， 其中，先进制程STI slurry、Poly slurry产品已进入国内主流晶圆公司产 线。报告期内研磨液产品销售额较上年同期增长140%。
总体总结
主题正文
- 上海新阳最新调研：公司化学机械研磨液产品覆盖14nm及以上技术节点，产品性能持续
- 优化，产品存放稳定性和表面粗糙度指标稳步提升，STI slurry、Poly
- slurry、W slurry、Oxide slurry等系列产品在头部客户端测试验证顺利，
- 其中，先进制程STI slurry、Poly slurry产品已进入国内主流晶圆公司产
- 报告期内研磨液产品销售额较上年同期增长140%。