【消息称SK海力士推进EUV工艺 开始引入新材料PSM】 SK海力士正致力于推进其极紫外光刻（EUV）技术，以实现下一代DRAM的量产。公司于去年首次推出高数值

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【消息称SK海力士推进EUV工艺 开始引入新材料PSM】 SK海力士正致力于推进其极紫外光刻（EUV）技术，以实现下一代DRAM的量产。公司于去年首次推出高数值孔径（High-NA）EUV设备，并于今年全面启动相关技术的研发。据悉，该公司已全面开始引入相移掩模（PSM）等新型材料，以提升EUV光刻性能。 （ZDNET Korea）

总体总结

主题正文

1. 【消息称SK海力士推进EUV工艺 开始引入新材料PSM】
2. SK海力士正致力于推进其极紫外光刻（EUV）技术，以实现下一代DRAM的量产。
3. 公司于去年首次推出高数值孔径（High-NA）EUV设备，并于今年全面启动相关技术的研发。
4. 据悉，该公司已全面开始引入相移掩模（PSM）等新型材料，以提升EUV光刻性能。
5. （ZDNET Korea）