【炬光科技688167】DUV光刻机核心部件+光场匀化器+国产样机 1、公司多年为光刻机曝光系统提供核心激光光学元器件——光场匀化器，最终应用于全球高端光刻机生
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【炬光科技688167】DUV光刻机核心部件+光场匀化器+国产样机 1、公司多年为光刻机曝光系统提供核心激光光学元器件——光场匀化器，最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备。 2、公司与国内相关研发单位广泛合作，光场匀化器已经应用于国产光刻机样机。 3、单套产品价值量从数十万元至近百万元不等，并计划向光学模组等更高价值产品延伸。
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主题正文
- 【炬光科技688167】DUV光刻机核心部件+光场匀化器+国产样机
- 1、公司多年为光刻机曝光系统提供核心激光光学元器件——光场匀化器，最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备。
- 2、公司与国内相关研发单位广泛合作，光场匀化器已经应用于国产光刻机样机。
- 3、单套产品价值量从数十万元至近百万元不等，并计划向光学模组等更高价值产品延伸。