国产浸润式DUV光刻机产业链已进入量产前夜：茂莱光学（曝光物镜）、汇成真空（镀膜设备）、菲沃泰（薄膜耗材）、美利信（腔体机械臂减震器）、波长光电（照明系统）。
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国产浸润式DUV光刻机产业链已进入量产前夜：茂莱光学（曝光物镜）、汇成真空（镀膜设备）、菲沃泰（薄膜耗材）、美利信（腔体机械臂减震器）、波长光电（照明系统）。 光刻机量产后零部件成为配套设备的扩产瓶颈：富创精密（平台型龙头）、江丰电子（静电卡盘）、正帆科技（气体传输系统）、珂玛科技（陶瓷加热器）、神工股份（硅零部件）、新莱应材（超高纯阀门）、京仪装备（温控装置）、埃科光电（工业相机）。 国产浸润式光刻机将来量产上修配套设备需求：芯源微（涂胶显影机）、飞测/精测（量检测设备）、先导基电（离子注入机）、华海清科（抛光减薄）、拓荆科技（薄膜沉积与混合键合）、华创/中微（刻蚀设备）、长川/精智（测试设备）、金海通（分选机）、骄成超声（超声检测）、耐科装备（封装设备）。
总体总结
主题正文
- 国产浸润式DUV光刻机产业链已进入量产前夜：茂莱光学（曝光物镜）、汇成真空（镀膜设备）、菲沃泰（薄膜耗材）、美利信（腔体机械臂减震器）、波长光电（照明系统）。
- 光刻机量产后零部件成为配套设备的扩产瓶颈：富创精密（平台型龙头）、江丰电子（静电卡盘）、正帆科技（气体传输系统）、珂玛科技（陶瓷加热器）、神工股份（硅零部件）、新莱应材（超高纯阀门）、京仪装备（温控装置）、埃科光电（工业相机）。
- 国产浸润式光刻机将来量产上修配套设备需求：芯源微（涂胶显影机）、飞测/精测（量检测设备）、先导基电（离子注入机）、华海清科（抛光减薄）、拓荆科技（薄膜沉积与混合键合）、华创/中微（刻蚀设备）、长川/精智（测试设备）、金海通（分选机）、骄成超声（超声检测）、耐科装备（封装设备）。