中科仪（920186）：国产干式真空泵龙头，芯片产线的「真空呼吸系统」。 第一层关系：中科仪是长鑫核心供应商，产品批量导入长鑫12寸DRAM产线，伴随长鑫扩产持

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中科仪（920186）：国产干式真空泵龙头，芯片产线的「真空呼吸系统」。 第一层关系：中科仪是长鑫核心供应商，产品批量导入长鑫12寸DRAM产线，伴随长鑫扩产持续收获订单； 第二层关系：中科仪深度绑定光刻机赛道。无论是ASML进口DUV，还是上海微电子国产光刻机，光刻腔体运行必须依靠干泵维持超高真空。中科仪配套国产光刻机真空系统，承担02专项相关研发，是光刻机上游关键零部件。

总体总结

主题正文

1. 中科仪（920186）：国产干式真空泵龙头，芯片产线的「真空呼吸系统」。
2. 第一层关系：中科仪是长鑫核心供应商，产品批量导入长鑫12寸DRAM产线，伴随长鑫扩产持续收获订单；
3. 第二层关系：中科仪深度绑定光刻机赛道。
4. 无论是ASML进口DUV，还是上海微电子国产光刻机，光刻腔体运行必须依靠干泵维持超高真空。
5. 中科仪配套国产光刻机真空系统，承担02专项相关研发，是光刻机上游关键零部件。