宝光谷份：拓展高纯氮、六氟化硫、C4气体、#氦气等多品类产品，核心产品5N级纯度的高纯氢气已在高端半导体行业实现批量应用，用于晶圆退火、外延生长等关键工艺，叠加

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宝光谷份：拓展高纯氮、六氟化硫、C4气体、#氦气等多品类产品，核心产品5N级纯度的高纯氢气已在高端半导体行业实现批量应用，用于晶圆退火、外延生长等关键工艺，叠加电网#宝光股份

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1. 宝光谷份：拓展高纯氮、六氟化硫、C4气体、#氦气等多品类产品，核心产品5N级纯度的高纯氢气已在高端半导体行业实现批量应用，用于晶圆退火、外延生长等关键工艺，叠加电网#宝光股份