韩国媒体报道称,中国 CXMT 目前正在合肥测试一条键合 DRAM 的试点生产线,目标是在不使用 EUV 光刻技术的情况下实现高性能 DRAM。 键合式 DRA
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韩国媒体报道称,中国 CXMT 目前正在合肥测试一条键合 DRAM 的试点生产线,目标是在不使用 EUV 光刻技术的情况下实现高性能 DRAM。
键合式 DRAM 是一种将存储单元阵列和外围电路分别制造在不同的晶圆上,然后再键合在一起的技术。这种方法仅使用多重曝光的深紫外(DUV)光刻技术即可生产超高密度 DRAM,无需使用极紫外(EUV)光刻设备。
三星电子正在“B1b”项目下开发其自主研发的键合 DRAM,而 SK 海力士也在研发类似技术。然而,韩国媒体警告称,有评估表明,CXMT 目前在技术本身和研发速度方面可能都领先于其韩国竞争对手。
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主题正文
- 韩国媒体报道称,中国 CXMT 目前正在合肥测试一条键合 DRAM 的试点生产线,目标是在不使用 EUV 光刻技术的情况下实现高性能 DRAM。
- 键合式 DRAM 是一种将存储单元阵列和外围电路分别制造在不同的晶圆上,然后再键合在一起的技术。
- 这种方法仅使用多重曝光的深紫外(DUV)光刻技术即可生产超高密度 DRAM,无需使用极紫外(EUV)光刻设备。
- 三星电子正在“B1b”项目下开发其自主研发的键合 DRAM,而 SK 海力士也在研发类似技术。
- 然而,韩国媒体警告称,有评估表明,CXMT 目前在技术本身和研发速度方面可能都领先于其韩国竞争对手。