韩国媒体报道称,中国 CXMT 目前正在合肥测试一条键合 DRAM 的试点生产线,目标是在不使用 EUV 光刻技术的情况下实现高性能 DRAM。 键合式 DRA

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韩国媒体报道称,中国 CXMT 目前正在合肥测试一条键合 DRAM 的试点生产线,目标是在不使用 EUV 光刻技术的情况下实现高性能 DRAM。

键合式 DRAM 是一种将存储单元阵列和外围电路分别制造在不同的晶圆上,然后再键合在一起的技术。这种方法仅使用多重曝光的深紫外(DUV)光刻技术即可生产超高密度 DRAM,无需使用极紫外(EUV)光刻设备。

三星电子正在“B1b”项目下开发其自主研发的键合 DRAM,而 SK 海力士也在研发类似技术。然而,韩国媒体警告称,有评估表明,CXMT 目前在技术本身和研发速度方面可能都领先于其韩国竞争对手。

总体总结

主题正文

  1. 韩国媒体报道称,中国 CXMT 目前正在合肥测试一条键合 DRAM 的试点生产线,目标是在不使用 EUV 光刻技术的情况下实现高性能 DRAM。
  2. 键合式 DRAM 是一种将存储单元阵列和外围电路分别制造在不同的晶圆上,然后再键合在一起的技术。
  3. 这种方法仅使用多重曝光的深紫外(DUV)光刻技术即可生产超高密度 DRAM,无需使用极紫外(EUV)光刻设备。
  4. 三星电子正在“B1b”项目下开发其自主研发的键合 DRAM,而 SK 海力士也在研发类似技术。
  5. 然而,韩国媒体警告称,有评估表明,CXMT 目前在技术本身和研发速度方面可能都领先于其韩国竞争对手。