6英寸磷化铟（InP）晶圆/衬底产线扩产，主要涉及晶体生长（长晶炉）→切磨抛→外延（MOCVD）→前后道制程设备，A股相关设备供应商梳理如下： 🔧 核心制程设备

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6英寸磷化铟（InP）晶圆/衬底产线扩产，主要涉及晶体生长（长晶炉）→切磨抛→外延（MOCVD）→前后道制程设备，A股相关设备供应商梳理如下：

🔧 核心制程设备（最直接受益）

环节 A股公司 代码 关联说明 磷化铟单晶炉/VGF长晶炉（衬底核心） 晶盛机电 300316.SZ A股唯一批量供应InP VGF单晶炉，供云南锗业、通美等 连城数控 835368.BJ 自研6英寸InP VGF长晶炉+切磨抛，绑定华芯晶电/通美 MOCVD外延设备（InP外延生长） 北方华创 002371.SZ 提供化合物半导体MOCVD/外延相关设备，适配InP外延产线 中微公司 688012.SH MOCVD设备可用于磷化铟外延生长（部分型号） CMP研磨抛光设备（衬底加工） 华海清科 688120.SH CMP抛光设备可用于InP衬底研磨抛光工序

✂ 切割/划片/检测设备

• 高测股份（688556.SH）：金刚石线切割设备适配磷化铟衬底，对接云南锗业等
• 宇晶股份（002943.SZ）：半导体切割设备切入InP晶体切割，进AXT供应链
• 德龙激光（688170.SH）：晶圆划片/切割设备适用磷化铟材料
• 博杰股份（002975.SZ）：晶圆切割、测试分选设备用于化合物半导体产线

🧱 配套耗材/零部件（常被归为设备配套）

• 凯德石英（835179.BJ）：磷化铟长晶用高纯石英坩埚/舟，供通美晶体（AXT）
• 拓荆科技（688072.SH）：薄膜沉积（PECVD/ALD）可用于InP芯片前道制程

总体总结

暂无总结