本周日（6月14日），上海微电子首台量产浸没式DUV光刻机将正式交付ICRD（上海集成电路研发中心），这不是样机，是能商用、可量产的国产高端光刻机里程碑，正式打
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本周日（6月14日），上海微电子首台量产浸没式DUV光刻机将正式交付ICRD（上海集成电路研发中心），这不是样机，是能商用、可量产的国产高端光刻机里程碑，正式打破海外垄断。 张江高科 茂莱光学 汇成真空 波长光电
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主题正文
- 本周日（6月14日），上海微电子首台量产浸没式DUV光刻机将正式交付ICRD（上海集成电路研发中心），这不是样机，是能商用、可量产的国产高端光刻机里程碑，正式打破海外垄断。
- 张江高科 茂莱光学 汇成真空 波长光电