【微导纳米】半导体设备持续成长，26Q1多因素影响利润 2025年 ■营收26.3亿元，同比-2% ■归母净利2.2亿元，同比-3% ■毛利率:32.7%，同比
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【微导纳米】半导体设备持续成长，26Q1多因素影响利润
2025年 ■营收26.3亿元，同比-2% ■归母净利2.2亿元，同比-3% ■毛利率:32.7%，同比-7.3pct ■净利率:8.3%，同比-0.1pct
■分业务 光伏设备：营收15.9亿元，同比-31%，毛利率37.3%，同比-3.4pct 半导体设备：营收8.8亿元（营收占比提升至34%），同比+169%，毛利率18.5%，同比-9.2pct
2026Q1 ■营收4.82亿元，同比-5.5% ■归母净利2102万元，同比-75% ■扣非归母净利2208万元，同比-73% ■研发投入1.17亿元，同比增长73% ■毛利率:32.8%，同比-3.3pct，环比-0.5pct ■净利率:4.4%，同比-12.1pct，环比+7.6pct 26Q1净利润大幅下滑主要系光伏设备收入下滑31%、研发投入大幅增长73%、债务重组损失1092万元、折旧摊销及汇兑损失增加所致。
半导体设备： ALD和CVD设备获得客户验证和量产导入，核心产品High k、金属化合物、硬掩模等先进工艺设备的量产规模持续扩大，新产品与新技术市场渗透率稳步提升。在存储芯片、逻辑芯片、先进封装均实现新品突破。
光伏设备： 继续升级TOPCon、XBC、钙钛矿等电池技术，储备增长动能。
新兴领域： 布局固态电池、柔性电子、车规级芯片薄膜沉积设备的研发。新能源电池ALD镀膜设备实现销售。
风险提示：光伏设备减值风险
总体总结
主题正文
- 【微导纳米】半导体设备持续成长，26Q1多因素影响利润
- 光伏设备：营收15.9亿元，同比-31%，毛利率37.3%，同比-3.4pct
- 半导体设备：营收8.8亿元（营收占比提升至34%），同比+169%，毛利率18.5%，同比-9.2pct
- ■研发投入1.17亿元，同比增长73%
- ■毛利率:32.8%，同比-3.3pct，环比-0.5pct
- 26Q1净利润大幅下滑主要系光伏设备收入下滑31%、研发投入大幅增长73%、债务重组损失1092万元、折旧摊销及汇兑损失增加所致。
- 半导体设备： ALD和CVD设备获得客户验证和量产导入，核心产品High k、金属化合物、硬掩模等先进工艺设备的量产规模持续扩大，新产品与新技术市场渗透率稳步提升。
- 光伏设备： 继续升级TOPCon、XBC、钙钛矿等电池技术，储备增长动能。