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title: "中国开始量产国产DUV芯片制造工具 据The Information报道，一家中国国资背景的公司已首次开始制造芯片生产中的关键设备之一，今年计划生产5台，目标2"
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# 中国开始量产国产DUV芯片制造工具 据The Information报道，一家中国国资背景的公司已首次开始制造芯片生产中的关键设备之一，今年计划生产5台，目标2

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## 正文

中国开始量产国产DUV芯片制造工具
据The Information报道，一家中国国资背景的公司已首次开始制造芯片生产中的关键设备之一，今年计划生产5台，目标2027年达20台。据两名知情人士透露，这家总部位于上海的公司正在制造浸没式深紫外（DUV）GKJ。该公司汇集了来自其他中国公司的浸没式DUV研发团队，其中包括一家名为上海宇量昇科技（深圳新凯来持股50%）的芯片设备初创公司。
宇量昇科技：永新光学、福晶科技、波长光电、茂莱光学
新凯来：凯美特气、利和兴、新莱应材
GKJ概念：张江高科、奥普光电

## 总体总结

主题正文
1. 中国开始量产国产DUV芯片制造工具
2. 据The Information报道，一家中国国资背景的公司已首次开始制造芯片生产中的关键设备之一，今年计划生产5台，目标2027年达20台。
3. 据两名知情人士透露，这家总部位于上海的公司正在制造浸没式深紫外（DUV）GKJ。
4. 该公司汇集了来自其他中国公司的浸没式DUV研发团队，其中包括一家名为上海宇量昇科技（深圳新凯来持股50%）的芯片设备初创公司。
5. 宇量昇科技：永新光学、福晶科技、波长光电、茂莱光学
6. 新凯来：凯美特气、利和兴、新莱应材
7. GKJ概念：张江高科、奥普光电