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title: "【中泰电子丨芯源微】涂胶显影国产替代10倍空间，先进封装核心受益 卡位核心领域，新架构进展积极 前道涂胶显影设备（track）是产线上唯一与光刻机联机作业的核心"
topic_id: 82255214225251812
created_at: 2026-06-29T20:03:45.777+0800
source: zsxq
type: topic
cssclasses: zsxq-vault
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# 【中泰电子丨芯源微】涂胶显影国产替代10倍空间，先进封装核心受益 卡位核心领域，新架构进展积极 前道涂胶显影设备（track）是产线上唯一与光刻机联机作业的核心

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## 正文

【中泰电子丨芯源微】涂胶显影国产替代10倍空间，先进封装核心受益

卡位核心领域，新架构进展积极
前道涂胶显影设备（track）是产线上唯一与光刻机联机作业的核心设备，当前市场规模约百亿，日系厂商TEL占据绝大多数份额，国产化率极低，芯源微是国内量产型前道涂胶显影设备龙头，已推出offline、I-line、KrF及ArF浸没式等多种型号产品，卡位优势突出。
公司新一代超高产能涂胶显影机架构FTAlkaid取得积极进展，该系列前道超高产能涂胶显影机具有高产能、高稳定性、高可靠性，有望满足下游客户，实现国产化率的跃升。

多领域并进，打破海外垄断放量
清洗：公司推出高温SPM清洗设备，核心指标对标海外龙头，通过客户工艺验证，打破国外垄断，新签订单快速增长。
临时键合/解键合：公司临时键合机、解键合机整体技术已达到国际先进水平，备继续获得国内多家客户订单，2.5D/3D先进封装应用的新产品Frame清洗设备，已通过客户验证，进入放量阶段。

风险提示：行业景气度不及预期；下游扩产不及预期。

## 总体总结

主题正文
1. 【中泰电子丨芯源微】涂胶显影国产替代10倍空间，先进封装核心受益
2. 卡位核心领域，新架构进展积极
3. 前道涂胶显影设备（track）是产线上唯一与光刻机联机作业的核心设备，当前市场规模约百亿，日系厂商TEL占据绝大多数份额，国产化率极低，芯源微是国内量产型前道涂胶显影设备龙头，已推出offline、I-line、KrF及ArF浸没式等多种型号产品，卡位优势突出。
4. 公司新一代超高产能涂胶显影机架构FTAlkaid取得积极进展，该系列前道超高产能涂胶显影机具有高产能、高稳定性、高可靠性，有望满足下游客户，实现国产化率的跃升。
5. 多领域并进，打破海外垄断放量
6. 清洗：公司推出高温SPM清洗设备，核心指标对标海外龙头，通过客户工艺验证，打破国外垄断，新签订单快速增长。
7. 临时键合/解键合：公司临时键合机、解键合机整体技术已达到国际先进水平，备继续获得国内多家客户订单，2.5D/3D先进封装应用的新产品Frame清洗设备，已通过客户验证，进入放量阶段。
8. 风险提示：行业景气度不及预期；
