688361.SH 中科飞测 基础资料

行业:半导体

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1. 基本信息

公司
项目内容
股票简称中科飞测
股票代码688361.SH
公司全称深圳中科飞测科技股份有限公司
英文名称Skyverse Technology Co.,Ltd.
法定代表人陈鲁
注册地址深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-14号101 、102 公司注册地址的历史变更情况 无
办公地址深圳市龙华区观澜街道观光路银星科技园1301号 公司办公地址的邮政编码 518110 深圳中科飞测科技股份有限公司2025 年年度报告 8 / 279
网址http://www.skyverse.cn
邮箱IR@skyverse.cn
董事会秘书古凯男
主营业务主营业务无关的业务收入 1.正常经营之外的其他业务收入。如出租固定资 产、无形资产、包装物,销售材料,用材料进行非 货币性资产交换,经营受托管理业务等实现的收 入,以及虽计入主营业务收入,但属于上市公司正 常经营之外的收入。 5,335.18 销售备品备件等其他业务 收入 3,477.94 销售备品备件等其他业务 收入 2.不具备资质的类金融业务收入,如拆出资金利息 收入;本会计年度以及上一会计年度新增的类金融 业务所产生的收入,如担保、商业保理、小额贷 款、融资租赁、典当等业务形成的收入,为销售主 营产品而开展的融资租赁业务除外。 3.本会计年度以及上一会计年度新增贸易业务所产 生的收入。

2. 财务摘要

财务
金额单位:亿元;比率保留为小数。
报告期营业收入归母净利润扣非净利润经营现金流毛利率净利率ROE资产负债率EPS
202520.5330.587-1.226-8.62249.927%2.857%35.494%0.180
202413.804-0.115-1.241-3.12748.898%-0.835%42.071%-0.040
20238.9091.4030.317-0.52047.770%15.753%29.669%0.490
【财务分析指标】
指标20252024202320222021口径/解读
【杜邦分析】
营业收入(亿元)20.53313.8048.9095.0923.606利润表营业收入。
归母净利润(亿元)0.587-0.1151.4030.1200.534归属于母公司所有者的净利润。
净利率2.857%-0.835%15.753%2.351%14.818%归母净利润 / 营业收入。
平均总资产(亿元)60.72438.18025.44313.7178.676期初期末资产总计简单平均。
总资产周转率(次)0.3380.3620.3500.3710.416营业收入 / 平均总资产。
平均归母权益(亿元)37.78724.24314.9025.6215.259期初期末归母权益简单平均。
权益乘数1.6071.5751.7072.4401.650平均总资产 / 平均归母权益。
ROE1.552%-0.475%9.418%2.129%10.159%归母净利润 / 平均归母权益。
【盈利能力与费用率】
毛利率49.927%48.898%47.770%48.672%48.959%(营业收入 - 营业成本)/ 营业收入。
营业利润率2.167%-0.479%15.030%2.551%14.843%营业利润 / 营业收入。
ROA0.966%-0.302%5.516%0.873%6.158%归母净利润 / 平均总资产。
研发费用率31.954%36.075%25.620%40.404%26.359%研发费用 / 营业收入。
销售费用率7.396%7.663%6.533%10.561%8.777%销售费用 / 营业收入。
管理费用率10.329%11.781%9.935%11.792%11.017%管理费用 / 营业收入。
财务费用率0.866%-0.023%-0.910%-0.091%-0.975%财务费用 / 营业收入。
【成长与现金流】
收入同比48.749%54.942%74.949%41.237%51.756%营业收入较上年同期增速。
归母净利润同比608.910%-108.212%1,072.384%-77.593%34.965%归母净利润较上年同期增速。
经营现金流(亿元)-8.622-3.127-0.5200.670-0.999经营活动产生的现金流量净额。
CFO/归母净利润-14.70027.132-0.3715.598-1.870经营现金流 / 归母净利润。
资产负债率35.494%42.071%29.669%65.703%48.764%负债合计 / 资产总计。

3. 新闻动态

动态
【正式新闻(公告/公司官网/六网+主流媒体)】
日期标题摘要
2025中科飞测披露2025年年度报告本批次以本地年度报告和财务三表工作簿为硬数据来源。
2026-04-29中科飞测:深圳中科飞测科技股份有限公司2026年第一季度报告一季度报告全文;用于补充年报之后的正式披露,不覆盖年报硬数据。
2026-04-25中科飞测:深圳中科飞测科技股份有限公司2025年年度报告摘要年度报告摘要;用于补充年报之后的正式披露,不覆盖年报硬数据。
2026-04-25中科飞测:深圳中科飞测科技股份有限公司2025年年度报告年度报告全文;用于补充年报之后的正式披露,不覆盖年报硬数据。
2026-04-30中科飞测:2026年4月28日深圳中科飞测科技股份有限公司投资者关系活动记录表调研活动;用于补充年报之后的正式披露,不覆盖年报硬数据。
2026-04-25中科飞测:深圳中科飞测科技股份有限公司2025年度环境、社会与公司治理(ESG)报告ESG公告;用于补充年报之后的正式披露,不覆盖年报硬数据。
2026-04-25中科飞测:深圳中科飞测科技股份有限公司2025年度环境、社会与公司治理报告摘要ESG公告;用于补充年报之后的正式披露,不覆盖年报硬数据。
【本地星球/思维纪要社研究线索】
日期主题摘要
2026-04-25【天风电子】中科飞测:25Q4扣非利润年内首次转正,期待26年全系设备放量潜力【天风电子】中科飞测:25Q4扣非利润年内首次转正,期待26年全系设备放量潜力;【天风电子】中科飞测:25Q4...
2025-10-31中科飞测2025年三季报点评:收入持续快速增长,看好明暗场设备放量打开长期空间中科飞测2025年三季报点评:收入持续快速增长,看好明暗场设备放量打开长期相关表述已过滤;-- 中科飞测作为国内检测量测设备龙头,量产设备品类覆盖度国内领先

4. 股权结构

治理
【股本与控制关系摘要】
报告期末普通股股东总数13,398来源0001_20260425_2025年年度报告_深圳中科飞测科技股份有限公司2025年年度报告.pdf p.134
总股本/股本口径350,163,237来源资产负债表股本项目;如需登记口径请复核年报股本章节
第一大股东苏州翌流明光电科技有限公司持股比例10.80%
控股股东/实际控制人说明控股股东及其他关联方非经营性占用资金情况 否 十一、是否存在违反规定决策程序对外提供担保的情况 否 十二、是否存在半数以上董事无法保证公司所披露年度报告的真实性、准确性和完整性 否 十三、其他 □适用 √不适用来源0001_20260425_2025年年度报告_深圳中科飞测科技股份有限公司2025年年度报告.pdf p.3
【前十大股东】
年度股东名称股东性质持股比例持股数增减有限售无限售股份状态状态数量
2025苏州翌流明光电科技有限公司境内非国有法人10.80%37,800,96311037,800,963无
2025国投(上海)创业投资管理有限公司-国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙)其他8.30%29,057,16080无
2025深圳小纳光实验室投资企业(有限合伙)其他5.38%18,855,9375018,855,937无
2025哈承姝4.79%16,768,853516,643,853无
2025中国科学院微电子研究所国有法人2.85%9,979,07130无
2025深圳市创新投资集团有限公司国有法人2.55%8,929,92730无
2025广东红土创业投资管理有限公司-深圳市人才创新创业一号股权投资基金(有限合伙)其他2.38%8,337,79920无
2025中国工商银行股份有限公司-诺安成长混合型证券投资基金其他2.37%8,292,83620无
2025海南博林京融创业投资有限公司境内非国有法人2.11%7,384,91320无
2025海南岭南晟业创业投资有限公司境内非国有法人1.78%6,218,00020无

5. 管理层

治理
姓名职务/角色出生/年龄履历摘要
陈鲁董事长;核心技术人员;总经理49岁男,1977年生,中国香港籍,毕业于中国科学技术大学少年班,物理学专业学士学位;美国布朗大学物理学专业,博士研究生学位。2003 年11月至2005年10月,任RudolphTechnologies(现创新科技)系统科学家;2005年11月至2010年2月,任科磊半导体资深科学家; 2010年3月至2016年8月,任中科院微电子所研究员、博士生导师;2014年12月至2017年5月,任公司董事兼总经理;2017年5月至2022年10月,任公司董事长兼总经理;2022年10月至2023年6月,任公司董事长;2023年6月至今,任公司董事长兼总经理。
哈承姝董事49岁女,1977年生,中国香港籍,毕业于耶鲁大学国际和发展经济学专业,硕士研究生学位;美国华盛顿大学职业法律专业,博士研究生学位。2007年10月至2011年2月,任德勤会计师事务所(美国)高级税务分析师;2011年6月至2016年5月,任金沙江创业投资(加州)管理有限公司经理;2015年12月至2016年5月,任天成国际集团控股有限公司FinanceDirector;2016年5月至2019年8月,任公司副总裁;2019年8月至2020年12月,任公司董事兼副总裁;2020年12月至2022年10月,任公司董事兼副总经理;2022年10月至2023年6月,任公司董事兼总经理;2023年6月至2025年6月,任公司董事兼副总裁;2025年6月至今,任公司董事。
陈克复董事84岁男,1942年生,中国国籍,无永久境外居留权,毕业于复旦大学力学专业,本科学历,中国工程院院士。1968年1月至1992年11月, 历任天津轻工学院(现天津科技大学)讲师、副教授、教授;1992年12月至2003年5月,任中国造纸协会副理事长;1992年12月至 2003年5月,历任华南理工大学制浆造纸工程国家重点实验室(华南理工大学)筹建组副组长、副主任,轻工食品学院副院长,造纸与环境工程学院院长;2003年至今,任中国工程院院士;1992年12月至今,任华南理工大学教授、博士生导师;2008年10月至2019年 12月,任制浆造纸工程国家重点实验室学术委员会主任;2014年12月至今,任公司董事。
周凡女董事、财务总监41岁女,1985年生,中国国籍,无永久境外居留权,毕业于对外经济贸易大学会计学专业,本科学历,中国注册会计师(非执业会员)。2007 年8月至2020年8月,历任普华永道中天会计师事务所(特殊普通合伙)北京分所经理、高级经理;2020年8月至2020年12月,任公司财务副总裁;2020年12月至今,任公司财务总监兼董事。
刘臻董事(离任)44岁
古凯男董事会秘书;董事33岁(1993 年生)男,1993 年生,中国国籍,无永久境外居留权,毕业于英国帝国理工学院光学与光子学专业,硕士研究生学历。2017 年 5 月至 2020 年 12 月,任公司总经理助理;2020 年 12 月至今,任公司董事会秘书;2024 年 1 月至今,任公司董事。 张憬怡 女,1984 年生,中国国籍,无永久境外居留权,毕业于伦敦政治经济学院,风险与随机过程专业,硕士研究生学位。2008 年 11 月至 2010 年 3 月,任瑞信方正证券有限责任公司投资银行企业融资部分析师,2010 年 4 月至 2011 年 2 月,任中德证券有限责任公司投资银行大项 目发起部分析师,2011 年 3 月至 2012 年 1 月,任瑞士信贷集团(香港)投资银行企业融资部分析师,2012 年 2 月至 2016 年 4 月,任中 央汇金投资有限责任公司证券机构管理部一级经理,2016 年 4 月至 2017 年 12 月,任安邦保险海外投资部副总裁,2017 年 12 月至今, 国投创业投资管理有限公司先进制造投资总监,2025 年 12 月至今,任公司董事。 孙坚 女,1961 年生,中国国籍,无永久境外居留权,毕业于华中工学院(现华中科技大学)半导体物理及器件专业,本科学历。1983 年 8 月 至 1986 年 10 月,任原广播电影电视部广播科学研究院助理工程师;1986 年 11 月至 1995 年 4 月,任中国华大集成电路设计中心 IC 设计 工程师;1995 年 4 月至 1998 年 8 月,任国家大规模集成电路 ICCAD 工程研究中心副主任;1998 年 8 月至 2000 年 3 月,任北京奔达信 息工程公司总经理;2000 年 3 月至 2002 年 5 月,任中国华大集成电路设计中心(CIDC)总经理;2002 年 6 月至 2003 年 8 月,任北京中 电华大电子设计有限责任公司副总经理;2003 年 8 月至 2008 年 3 月,任北京铿腾电子科技有限公司中国区战略发展总监;2008 年 4 月 至 2014 年 10 月,任北京金沙江创业投资管理有限公司副
张憬怡董事42岁女,1984年生,中国国籍,无永久境外居留权,毕业于伦敦政治经济学院,风险与随机过程专业,硕士研究生学位。2008年11月至2010 年3月,任瑞信方正证券有限责任公司投资银行企业融资部分析师,2010年4月至2011年2月,任中德证券有限责任公司投资银行大项目发起部分析师,2011年3月至2012年1月,任瑞士信贷集团(香港)投资银行企业融资部分析师,2012年2月至2016年4月,任中央汇金投资有限责任公司证券机构管理部一级经理,2016年4月至2017年12月,任安邦保险海外投资部副总裁,2017年12月至今, 国投创业投资管理有限公司先进制造投资总监,2025年12月至今,任公司董事。
孙坚独立董事65岁女,1961年生,中国国籍,无永久境外居留权,毕业于华中工学院(现华中科技大学)半导体物理及器件专业,本科学历。1983年8月至1986年10月,任原广播电影电视部广播科学研究院助理工程师;1986年11月至1995年4月,任中国华大集成电路设计中心IC设计工程师;1995年4月至1998年8月,任国家大规模集成电路ICCAD工程研究中心副主任;1998年8月至2000年3月,任北京奔达信息工程公司总经理;2000年3月至2002年5月,任中国华大集成电路设计中心(CIDC)总经理;2002年6月至2003年8月,任北京中电华大电子设计有限责任公司副总经理;2003年8月至2008年3月,任北京铿腾电子科技有限公司中国区战略发展总监;2008年4月至2014年10月,任北京金沙江创业投资管理有限公司副总裁;2014年11月至2017年8月,任紫光集团有限公司总裁助理;2017年9 月至2018年4月,任北京石溪清流投资有限公司总经理;2017年9月至2023年6月,任北京石溪清流私募基金管理有限公司总经理; 2017年11月至2023年12月,任北京石溪屹唐华创投资管理有限公司董事;2020年12月至今,任公司独立董事;2023年9月至2025 年11月,任安徽启航鑫睿私募基金管理有限公司董事长;2025年11月至今;任安徽启航鑫睿私募基金管理有限公司总经理。
王新路独立董事39岁男,1987年生,中国国籍,无永久境外居留权,毕业于香港大学会计学专业,博士研究生学历。2015年10月至2019年7月,历任西南财经大学助理教授、副教授;2019年8月至今,任暨南大学副教授;2020年12月至今,任公司独立董事;2021年7月至今任暨南大学经济管理国家级实验教学示范中心副主任。
徐文海独立董事39岁男,1987年生,中国国籍,无永久境外居留权,毕业于日本立命馆大学法学专业,博士研究生学历。2015年1月至2024年2月,任同济大学法学院副教授;2020年10月至今,在上海市申浩律师事务所兼职律师;2024年1月至今,任公司独立董事;2024年3月至今,任华东师范大学副教授。
黄有为核心技术人员43岁男,1983年生,中国国籍,无永久境外居留权,毕业于北京理工大学光学工程专业,博士研究生学历。2010年9月至2012年7月,任清华大学博士后;2012年9月至2016年2月,任中科院微电子所助理研究员;2016年2月至2016年6月,任北京中航智科技有限公司研发工程师;2016年6月至今,任公司首席科学家。
杨乐核心技术人员;主要工作经历;男,1977年生,中国香港籍,毕业于中国科学技术大学少年班,物理学专业学士学位;美国布朗大学物理学专业,博士研究生学位。2003 年11月至2005年10月,任RudolphTechnologies(现创新科技)系统科学家;2005年11月至2010年2月,任科磊半导体资深科学家; 2010年3月至2016年8月,任中科院微电子所研究员;博士生导师;2014年12月至2017年5月,任公司董事兼总经理;2017年5月至2022年10月,任公司董事长兼总经理;2022年10月至2023年6月,任公司董事长;2023年6月至今,任公司董事长兼总经理。;女,1977年生,中国香港籍,毕业于耶鲁大学国际和发展经济学专业,硕士研究生学位;美国华盛顿大学职业法律专业,博士研究生学位。2007年10月至2011年2月,任德勤会计师事务所(美国)高级税务分析师;2011年6月至2016年5月,任金沙江创业投资(加州)管理有限公司经理;2015年12月至2016年5月,任天成国际集团控股有限公司FinanceDirector;2016年5月至2019年8月,任公司副总裁;2019年8月至2020年12月,任公司董事兼副总裁;2020年12月至2022年10月,任公司董事兼副总经理;2022年10月至2023年6月,任公司董事兼总经理;2023年6月至2025年6月,任公司董事兼副总裁;2025年6月至今,任公司董事。;男,1942年生,中国国籍,无永久境外居留权,毕业于复旦大学力学专业,本科学历,中国工程院院士。1968年1月至1992年11月, 历任天津轻工学院(现天津科技大学)讲师;副教授;教授;1992年12月至2003年5月,任中国造纸协会副理事长;1992年12月至 2003年5月,历任华南理工大学制浆造纸工程国家重点实验室(华南理工大学)筹建组副组长;副主任,轻工食品学院副院长,造纸与环境工程学院院长;2003年至今,任中国工程院院士;1992年12月至今,任华南理工大学教授;博士生导师;2008年10月至2019年 12月,任制浆造纸工程国家重点实验室学术委员会主任;2014年12月至今,任公司董事。;女,1985年生,中国国籍,无永久境外居留权,毕业于对外经济贸易大学会计学专业,本科学历,中国注册会计师(非执业会员)。2007 年8月至2020年8月,历任普华永道中天会计师事务所(特殊普通合伙)北京分所经理;高级经理;2020年8月至2020年12月,任公司财务副总裁;2020年12月至今,任公司财务总监兼董事。;男,1993年生,中国国籍,无永久境外居留权,毕业于英国帝国理工学院光学与光子学专业,硕士研究生学历。2017年5月至2020年12 月,任公司总经理助理;2020年12月至今,任公司董事会秘书;2024年1月至今,任公司董事。;女,1984年生,中国国籍,无永久境外居留权,毕业于伦敦政治经济学院,风险与随机过程专业,硕士研究生学位。2008年11月至2010 年3月,任瑞信方正证券有限责任公司投资银行企业融资部分析师,2010年4月至2011年2月,任中德证券有限责任公司投资银行大项目发起部分析师,2011年3月至2012年1月,任瑞士信贷集团(香港)投资银行企业融资部分析师,2012年2月至2016年4月,任中央汇金投资有限责任公司证券机构管理部一级经理,2016年4月至2017年12月,任安邦保险海外投资部副总裁,2017年12月至今, 国投创业投资管理有限公司先进制造投资总监,2025年12月至今,任公司董事。;女,1961年生,中国国籍,无永久境外居留权,毕业于华中工学院(现华中科技大学)半导体物理及器件专业,本科学历。1983年8月至1986年10月,任原广播电影电视部广播科学研究院助理工程师;1986年11月至1995年4月,任中国华大集成电路设计中心IC设计工程师;1995年4月至1998年8月,任国家大规模集成电路ICCAD工程研究中心副主任;1998年8月至2000年3月,任北京奔达信息工程公司总经理;2000年3月至2002年5月,任中国华大集成电路设计中心(CIDC)总经理;2002年6月至2003年8月,任北京中电华大电子设计有限责任公司副总经理;2003年8月至2008年3月,任北京铿腾电子科技有限公司中国区战略发展总监;2008年4月至2014年10月,任北京金沙江创业投资管理有限公司副总裁;2014年11月至2017年8月,任紫光集团有限公司总裁助理;2017年9 月至2018年4月,任北京石溪清流投资有限公司总经理;2017年9月至2023年6月,任北京石溪清流私募基金管理有限公司总经理; 2017年11月至2023年12月,任北京石溪屹唐华创投资管理有限公司董事;2020年12月至今,任公司独立董事;2023年9月至2025 年11月,任安徽启航鑫睿私募基金管理有限公司董事长;2025年11月至今;任安徽启航鑫睿私募基金管理有限公司总经理。;男,1987年生,中国国籍,无永久境外居留权,毕业于香港大学会计学专业,博士研究生学历。2015年10月至2019年7月,历任西南财经大学助理教授;副教授;2019年8月至今,任暨南大学副教授;2020年12月至今,任公司独立董事;2021年7月至今任暨南大学经济管理国家级实验教学示范中心副主任。;男,1987年生,中国国籍,无永久境外居留权,毕业于日本立命馆大学法学专业,博士研究生学历。2015年1月至2024年2月,任同济大学法学院副教授;2020年10月至今,在上海市申浩律师事务所兼职律师;2024年1月至今,任公司独立董事;2024年3月至今,任华东师范大学副教授。;男,1983年生,中国国籍,无永久境外居留权,毕业于北京理工大学光学工程专业,博士研究生学历。2010年9月至2012年7月,任清华大学博士后;2012年9月至2016年2月,任中科院微电子所助理研究员;2016年2月至2016年6月,任北京中航智科技有限公司研发工程师;2016年6月至今,任公司首席科学家。;男,1985年生,中国国籍,无永久境外居留权,毕业于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学工程专业,博士研究生学历。2012 年7月至2020年2月,历任中科院微电子所助理研究员;高级工程师;2015年3月至今,任公司首席科学家。;股东单位名称;苏州翌流明;小纳光;无;其他单位名称;姝承教育(深圳)有限责任公司;深圳星空视角科技有限责任公司;北京星空视角科技有限责任公司;长春星空视角科技有限责任公司;华南理工大学;山东太阳纸业集团有限公司;天津科技大学;杭州市化工研究院有限公司;深圳市路维光电股份有限公司;深圳市迅特通信技术股份有限公司;沈阳富创精密设备股份有限公司;国投创业投资管理有限公司;北京泽石科技有限责任公司;合肥昱驰真空技术有限;公司;安徽启航鑫睿私募基金管理有限公司;南京天易合芯电子有限公司;大连金三维科技有限公司;长鑫新桥存储技术有限公司;大连金维投资咨询有限责任公司;波士顿电池(深圳)有限公司(吊销未注销);暨南大学;长春长光辰芯微电子股份有限公司;江西九丰能源股份有限公司;广东顺德农村商业银行股份有限公司;上海申浩律师事务所;华东师范大学;公司薪酬与考核委员会负责董事和高级管理人员的薪酬方案和考核,高级管理人员的薪酬方案由董事会批准后执行;董事的薪酬方案由董事会批准后提交股东会通过后执行。;是;2025年4月2日,薪酬与考核委员会审议了《关于公司2025年度董事薪酬方案的议案》《关于公司2025年度高管薪酬方案的议案》, 审议董事薪酬方案时全体委员回避表决,非关联委员已审议通过高级管理人员薪酬方案的议案。;根据《公司章程》等相关法律法规,结合公司经营规模等实际情况并参照行业薪酬水平,公司薪酬与考核委员会制定公司2025年度董事和高级管理人员的薪酬方案。公司独立董事享有独立董事津贴,在公司兼任其他职位的非独立董事按其任职岗位;服务内容以及在实际工作中的履职能力和工作绩效提供报酬,不再另行领取董事津贴。公司高级管理人员的薪酬根据公司年度经营情况;其任职岗位及履职情况领取相应的报酬。;董事;高级管理人员薪酬的实际支付情况与年报披露的数据相符。;1,396.41;941.53;2025年度,独立董事领取的独立董事津贴不适用考核情况;在公司领取薪酬的非独立董事和高级管理人员依据公司绩效考核规定获得相应的薪酬。绩效考核工作按公司绩效考核规定,有效执行并完成。;2025年度,独立董事领取的独立董事津贴不适用相关规定;非独立董事和高级管理人员薪酬暂无递延支付安排。;2025年度,独立董事领取的独立董事津贴不适用相关规定;非独立董事和高级管理人员薪酬暂无止付追索情况。;担任的职务;是否独立董事;否;10;0;成员姓名;王新路;哈承姝;徐文海;孙坚;陈鲁;徐文海;王新路;陈鲁;徐文海;陈鲁;哈承姝;陈克复;会议内容;1;审议《关于公司董事会审计委员会2024年度履职情况报告的议案》 2;审议《关于公司2024年度内部控制评价报告的议案》 3;审议《关于公司2024年年度报告及摘要的议案》 4;审议《关于公司2024年度会计师事务所履职情况评估报告的议案》 5;审议《关于董事会审计委员会对会计师事务所2024年度履行监督职责情况报告的议案》 6;审议《关于公司2025年度审计机构的选聘文件的议案》 7;审议《关于续聘公司2025 年度审计机构的议案》;8;审议《关于公司2024年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告的议案》 9;审议《关于公司2024年度内部审计工作报告的议案》;审议《关于公司2025年第一季度报告的议案》;1;审议《关于公司<2025年半年度报告>全文及其摘要的议案》 2;审议《关于公司<2025年半年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告>的议案》;审议《关于公司<2025年第三季度报告>的议案》;审议《关于预计2025年度日常关联交易的议案》;审议《关于补选公司第二届董事会非独立董事的议案》;1;审议《关于调整2024年限制性股票激励计划授予价格的议案》2;审议《关于向激励对象授予2024年限制性股票激励计划预留部分限制性股票的议案》;1;审议《关于公司2025年度董事薪酬方案的议案》2;审议 《关于公司2025年度高管薪酬方案的议案》;1;审议《关于作废部分已授予尚未归属的限制性股票的议案》2;审议《关于公司2024 年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期归属条件成就的议案》;审议《关于制定<公司董事;高级管理人员薪酬管理制度>的议案》;审议《关于公司2024年度总经理工作报告的议案》;656;841;1497;专业构成人数;270;197;374;数量(人);525;757;215;√是 □否;未分配利润的用途和使用计划;公司2025年度未分配利润将累计滚存至下一年度,以进一步推动公司生产经营;研发创新;项目建设等需求。;58,652,552.17;315,128,858.04;23,563,714.62;1,154,080,390.37;33.61;激励方式;第二类限制性股票;年初已授予股权激励数量;7,250,000;报告期内公司层面考核指标完成情况;已达到目标值;查询索引;详见2025年3月29日在上海交易所网站 (www.sse.com.cn)上刊登的公告。;详见2025年4月16日在上海交易所网站 (www.sse.com.cn)上刊登的公告。;详见2025年6月14日在上海交易所网站 (www.sse.com.cn)上刊登的公告。;职务;ESG评级机构;北京商道融绿咨询有限公司;中诚信绿金科技(北京)有限公司;万得信息技术股份有限公司;数量;数量;内容;107;7.15;7,501.7562;21.42;次数;3;承诺类型;股份限售;其他;解决同业竞争;解决关联交易41岁(1985 年生)男,1985 年生,中国国籍,无永久境外居留权,毕业于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学工程专业,博士研究生学历。2012 年 7 月至 2020 年 2 月,历任中科院微电子所助理研究员、高级工程师;2015 年 3 月至今,任公司首席科学家。 其他情况说明 √适用 □不适用 2025 年 12 月 19 日,股东会审议通过了《关于取消监事会、变更注册资本、修订<公司章程>并办理工商登记的议案》,公司不再设置监事会,由 公司董事会下设的审计委员会行使《公司法》等法律法规规定的监事会职权,同时《监事会议事规则》相应废止。 (二) 现任及报告期内离任董事和高级管理人员的任职情况

6. 主营业务及产品

业务
【最新年度产品/业务摘要】
产品/业务收入(亿元)收入占比收入同比毛利率价格/ASP
检测设备13.64066.432%38.520%53.294%
量测设备6.23330.355%72.714%41.908%
其他(补充)0.5342.598%53.401%56.435%
软件0.1260.615%54.590%
【近三年产品收入毛利明细】
分类方向项目指标202520242023
产品分类检测设备收入(亿元)13.6409.8476.544
产品分类检测设备成本(亿元)6.3714.6752.803
产品分类检测设备毛利(亿元)7.2695.1723.741
产品分类检测设备毛利率53.294%52.524%57.171%
产品分类量测设备收入(亿元)6.2333.6092.216
产品分类量测设备成本(亿元)3.6212.2541.356
产品分类量测设备毛利(亿元)2.6121.3540.860
产品分类量测设备毛利率41.908%37.527%38.791%
产品分类其他(补充)收入(亿元)0.5340.3480.149
产品分类其他(补充)成本(亿元)0.2320.1240.062
产品分类其他(补充)毛利(亿元)0.3010.2230.087
产品分类其他(补充)毛利率56.435%64.240%58.385%
产品分类软件收入(亿元)0.126
产品分类软件成本(亿元)0.057
产品分类软件毛利(亿元)0.069
产品分类软件毛利率54.590%
【近三年地区收入毛利明细】
分类方向项目指标202520242023
地区分类其他(补充)收入(亿元)0.5340.3480.149
地区分类其他(补充)成本(亿元)
地区分类其他(补充)毛利(亿元)
地区分类其他(补充)毛利率
地区分类境内收入(亿元)19.44513.3968.605
地区分类境内成本(亿元)
地区分类境内毛利(亿元)
地区分类境内毛利率
地区分类境外收入(亿元)0.5540.0600.155
地区分类境外成本(亿元)
地区分类境外毛利(亿元)
地区分类境外毛利率

7. 行业情况

行业
【联网行业情况(按主营产品)】
主题内容来源/日期对公司影响
主营产品锚点中科飞测(688361.SH)归类为前道设备;本地年报/facts识别的产品或应用为:检测设备、量测设备、其他(补充)、软件。本地 facts.target.json;年报硬数据只用于行业归类,不覆盖主营分部收入。
行业整体情况公司处于前道设备链条,需求核心不只看半导体销售额,还要看晶圆厂资本开支、先进节点扩产、存储/HBM投资和国产设备验证节奏。2026年全球半导体销售和300mm设备支出同步上行,设备景气度仍处于AI和本地化投资共同拉动阶段。联网来源综合;访问日:2026-05-06宏观/行业口径,不写入三张财务报表。
最新变动最新变化是AI服务器、先进逻辑、存储和区域供应链本地化继续推动设备投资;中国仍为全球最大设备市场,但台湾、韩国的先进制程/存储投资弹性更强,国内设备公司要同时面对国产替代机会与价格/验收/客户资本开支节奏波动。联网来源综合;发布日期见来源最新事件作为行业背景或线索,不能视作公司承诺。
对公司的映射中科飞测主营产品锚点为检测设备、量测设备、其他(补充)、软件。写入时建议表述为“行业需求向上、公司兑现看订单、交付和验收”,不得把设备支出预测直接等同于公司收入。Codex按主营产品映射定性分析;后续可用公告、订单、调研纪要进一步验证。
需要跟踪跟踪晶圆厂扩产、客户招标和验收进度、先进制程/成熟制程投资差异、核心零部件供应及出口管制。待后续公告/年报/公司IR验证无法核验的细分市占率、客户份额和订单数据不编造。

8. 行业龙头对标

对标
行业龙头对标:中科飞测
层级公司代码业务定位财务期营收(亿元)归母净利(亿元)毛利率净利率最新价PE动态PB总市值(亿元)
行业龙头北方华创002371.SZ刻蚀、薄膜、清洗等平台型设备2026-03-31103.23016.35040.77%15.19%557.66061.82010.2904,042.100
行业龙头中微公司688012.SH刻蚀设备和MOCVD设备龙头2025123.85021.11039.17%17.05%397.39066.94010.2402,491.310
行业龙头拓荆科技688072.SHPECVD/ALD/SACVD设备2026-03-3111.1205.71041.69%50.54%469.90058.20018.3101,328.370
竞争格局参照盛美上海688082.SH半导体清洗与湿法设备2026-03-3114.7601.04045.64%7.06%160.320184.5405.640769.800
行业龙头华海清科688120.SHCMP和晶圆减薄设备202546.48010.84041.81%23.31%204.87073.2409.380724.530
竞争格局参照中科飞测688361.SH前道检测和量测设备202520.5300.59049.93%2.86%200.770-258.61013.860703.020
竞争格局参照芯源微688037.SHTrack和清洗设备2026-03-313.3100.04046.69%3.09%238.7803,430.19017.190481.450

9. 海外龙头对标

对标
层级公司代码/市场业务参照财务期原币汇率(人民币/原币)营收(亿元人民币)净利润(亿元人民币)毛利率净利率市值(亿元人民币)PEPB数据口径/缺失原因来源URL工具状态/访问日期
直接可比Applied MaterialsAMAT / NASDAQ全球前道设备平台型龙头FY2025 (2025-10-26)USD681.150%1,932.286476.66948.675%24.669%21,156.72540.14214.302财务期=FY2025 (2025-10-26);原币=USD;营收=28.368十亿原币/人民币1932.2863亿元;利润=6.998十亿原币/人民币476.6688亿元;市值/PE/PB为动态快照,日期=2026-05-04。SEC companyfacts; Yahoo Finance market snapshothttps://data.sec.gov/api/xbrl/companyfacts/CIK0000006951.json已用SEC companyfacts/Yahoo Finance补充可得结构化字段; access=2026-05-06; market_date=2026-05-04
直接可比Lam ResearchLRCX / NASDAQ刻蚀/沉积/清洗设备龙头FY2025 (2025-06-29)USD681.150%1,255.740364.97548.705%29.065%22,025.67648.87930.550财务期=FY2025 (2025-06-29);原币=USD;营收=18.4356十亿原币/人民币1255.7403亿元;利润=5.3582十亿原币/人民币364.975亿元;市值/PE/PB为动态快照,日期=2026-05-04。SEC companyfacts; Yahoo Finance market snapshothttps://data.sec.gov/api/xbrl/companyfacts/CIK0000707549.json已用SEC companyfacts/Yahoo Finance补充可得结构化字段; access=2026-05-06; market_date=2026-05-04
直接可比KLAKLAC / NASDAQ量检测设备龙头FY2025 (2025-06-30)USD681.150%828.017276.65960.910%33.412%15,359.73348.52238.386财务期=FY2025 (2025-06-30);原币=USD;营收=12.1562十亿原币/人民币828.017亿元;利润=4.0616十亿原币/人民币276.6588亿元;市值/PE/PB为动态快照,日期=2026-05-04。Yahoo Finance fundamentals time-series; market snapshothttps://query1.finance.yahoo.com/ws/fundamentals-timeseries/v1/finance/timeseries/KLAC?type=annualTotalRevenue,annualNetIncome,annualGrossProfit,trailingMarketCap,quarterlyMarketCap,annualMarketCap,trailingPeRatio,trailingPbRatio已用SEC companyfacts/Yahoo Finance补充可得结构化字段; access=2026-05-06; market_date=2026-05-04
生态参照ASMLASML / Euronext/NASDAQ光刻设备龙头,作为前道设备生态参照FY2025 (2025-12-31)EUR801.830%2,619.362770.51052.830%29.416%37,633.50345.71021.872财务期=FY2025 (2025-12-31);原币=EUR;营收=32.6673十亿原币/人民币2619.3621亿元;利润=9.6094十亿原币/人民币770.5105亿元;市值/PE/PB为动态快照,日期=2026-05-04。SEC companyfacts; Yahoo Finance market snapshothttps://data.sec.gov/api/xbrl/companyfacts/CIK0000937966.json已用SEC companyfacts/Yahoo Finance补充可得结构化字段; access=2026-05-06; market_date=2026-05-04

10. 竞争格局

对标
竞争格局:中科飞测
维度结论来源/口径
细分赛道前道量检测设备;对标组=前道设备步骤二半导体细分赛道映射
动态估值总市值 703.02 亿元;PE动态 -258.61;PB 13.86AKShare行情快照 as_of=2026-05-06
国内竞争已按本赛道写入行业龙头对标页,包含本地年报硬数据和AKShare动态估值。7 家A股/本地同行
海外参照海外页按直接可比、相邻上市公司和生态参照分层;缺失财务指标明确写MCP/IR原因。4 家海外公司
【国内同行摘要】
公司定位营收(亿元)归母净利(亿元)市值(亿元)PE动态PB
北方华创刻蚀、薄膜、清洗等平台型设备103.23016.3504,042.10061.82010.290
中微公司刻蚀设备和MOCVD设备龙头123.85021.1102,491.31066.94010.240
拓荆科技PECVD/ALD/SACVD设备11.1205.7101,328.37058.20018.310
盛美上海半导体清洗与湿法设备14.7601.040769.800184.5405.640
华海清科CMP和晶圆减薄设备46.48010.840724.53073.2409.380
中科飞测前道检测和量测设备20.5300.590703.020-258.61013.860
芯源微Track和清洗设备3.3100.040481.4503,430.19017.190
【海外参照摘要】
公司层级业务参照数据状态
Applied Materials直接可比全球前道设备平台型龙头sec_edgar MCP未命中;使用公司IR/SEC入口
Lam Research直接可比刻蚀/沉积/清洗设备龙头sec_edgar MCP未命中;使用公司IR/SEC入口
KLA直接可比量检测设备龙头sec_edgar MCP未命中;使用公司IR/SEC入口
ASML生态参照光刻设备龙头,作为前道设备生态参照非A股/TWSE;使用公司IR

11. 核心竞争力

观点
核心竞争力
主题内容
核心竞争力竞争优势进一步增强,暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备等 新系列产品及第四代无图形晶圆缺陷检测设备、第三代套刻精度量测设备等现有系列升级迭代产 品收入贡献增长,推动公司订单规模及营收规模持续增长。 报告期内,归属于上市公司股东的净利润为 5,865.26 万元,较上年同期增加 7,017.77 万元, 归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为-12,255.17 万元,较上年同期增加 155.20 万 元,主要系随着营收增加,规模效应逐步凸显,公司研发投入稳步增长但占营业收入的比例同比 有所下降,盈利水平提升。 报告期内,经营活动产生的现金流量净额为-86,217.12 万元,较上年同期减少 54,947.03 万 元,主要随着公司业务规模持续快速提升,原材料相关采购支出相应增长,同时,为巩固并提升 技术实力,公司研发投入持续增加等因素导致短期内经营活动现金流出大于流入。 报告期内,公司每股收益及加权平均净资产收益率指标有不同程度的提升,主要系随着
核心竞争力竞争优势进一步增强,暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备等 新系列产品及第四代无图形晶圆缺陷检测设备、第三代套刻精度量测设备等现有系列升级迭代产 品收入贡献增长,推动公司订单规模及营收规模持续增长。 报告期内,公司实现归属于上市公司股东的净利润 5,865.26 万元,实现扭亏为盈,主要系规 模效应逐步凸显,公司研发投入稳步增长但占营业收入的比例同比有所下降,盈利水平提升。 2、持续高水平研发投入,稳步推进各系列设备产业化进程 核心技术实力作为公司市场竞争力及行业地位的重要体现,公司通过自主研发和自主创新原 则,将核心技术能力的持续提升作为自身发展的重要战略。2025 年公司研发投入达 65,611.15 万 元,较 2024 年同期增长 31.76%。报告期内,公司在持续保持高水平的研发投入进一步巩固和提 升公司核心技术实力的同时,继续发挥公司在销售和客户服务的竞争优势,为客户提供全方位的 产品和服务解决方案,同时紧跟客户的关键工艺技术创新所带来的检测和
核心竞争力竞争优势,设备灵敏度和吞吐量可以满足国内 所有工艺制程客户的量产需求,并且已广泛应用于国内所有主要集成电路制造企业的生产线上, 市占率不断提升。凭借第三代、第四代无图形晶圆缺陷检测设备连续通过多家国内头部逻辑及存 储客户验证,公司的无图形晶圆缺陷检测设备销售规模快速增长,进一步巩固该系列产品在国内 企业的绝对领先优势,并推动订单规模的持续增长。 在逻辑芯片领域,设备各项性能指标均能满足国内各类制程客户产线量产需求,设备采用深 紫外成像扫描技术,已具备给所有国内主流客户产线批量供货的能力,头部客户产线的订单金额 和占比持续增长;
核心竞争力竞争优势,介质薄膜膜厚量测设备能够满 足功率芯片大间距深沟槽量测需求及化合物半导体透明和半透明基板膜厚量测需求,金属薄膜膜 厚量测设备可以实现 MEMS 及应用在通信系统中的射频芯片中多层金属薄膜量测需求; 在先进封装领域,公司的介质薄膜膜厚量测设备和金属薄膜膜厚量测设备均能满足晶圆级封 装和 2.5D/3D 封装的技术要求,有效地解决先进封装制程中对涂胶、薄膜沉积等工艺的膜厚管控, 同时对客户研发更先进的封装工艺提供相应的量测工艺支持。 (5)套刻精度量测设备系列 公司套刻精度量测设备已全面覆盖各类集成电路客户对于不同技术方案的需求。2025 年度, 测量精度更高的第三代套刻精度量测设备已通过多家国内头部客户产线验证,客户订单量持续稳 步增长,目前基于新技术方案研发的套刻精度量测设备已出货至国内头部客户产线开展验证,并 持续推进双技术路线设备面向国内最前沿工艺的产品研发,进一步巩固该系列产品在国内企业的 绝对领先优势并推动订单规模的持续增长。 在
核心竞争力核心竞争力分析 (一) 核心竞争力分析 √适用 □不适用 公司始终坚持自主创新,持续地为半导体行业客户提供涵盖设备产品、智能软件产品和相关 服务的全流程良率管理解决方案。公司积累了深厚的研发创新能力,并在研发团队、客户资源、 产品布局和售后服务等方面形成竞争优势,具体体现为: 1、技术积累与研发创新能力 公司始终坚持创新及差异化发展战略,在检测和量测设备的研发中,公司攻克了多项设备关 键模块自主化开发难题,技术创新能力得到显著提升;在智能软件产品研发中,公司将人工智能 和大数据技术应用到半导体质量控制数据上,形成了一系列提升高端半导体制造良率的软件产品。 目前,公司已形成深紫外成像扫描技术、高精度多模式干涉量测技术、基于参考区域对比的缺陷 识别算法技术等多项核心技术,上述核心技术成功应用于公司各系列产品,为公司创造了良好的 经济效益。截至报告期末,公司拥有专利 789 项,其中发明专利 314 项,并承担了国家级、省级、 市级重点专项研发任务,具备
核心观点
核心观点中科飞测(688361.SH)作为国内半导体质量控制设备领域的领先企业,其核心竞争力根植于对前道制造关键环节的深度聚焦与持续的技术突破。公司主营业务明确集中于半导体检测与量测设备,2025年数据显示,检测设备贡献了66.4%的收入(13.64亿元),量测设备贡献30.4%(6.23亿元),两者合计构成公司几乎全部的营收支柱,体现了其在半导体制造良率管理这一核心赛道的专业化布局。这种高度聚焦使得公司能够集中资源攻克技术难关,而非进行泛平台化扩张。 公司的核心竞争力首先体现在其构建的“设备+软件+服务”全流程解决方案能力上。这超越了单一设备供应商的定位,通过智能软件产品与设备的深度耦合,为客户提供从数据采集、分析到工艺优化的整体良率管理方案。这种模式不仅提升了产品附加值(2025年整体毛利率达49.93%),更增强了客户粘性,形成了从硬件到软件生态的壁垒。在技术层面,公司年报明确指出,其在光学检测技术、大数据检测算法和自动化软件等多学科交叉领域实现了自主研发与创新,多项关键核心技术达到国际领先水平。半导体质量控制设备是典型的技术密集型行业,涉及精密光学、复杂算法、高速机电控制等,技术门槛极高,新进入者需要漫长的研发积累。中科飞测通过持续的研发投入构建了深厚的技术护城河。 客户与认证壁垒是公司另一项关键优势。半导体设备的验证周期长、成本高,下游晶圆厂客户对设备的稳定性、精度和可靠性要求极为苛刻,一旦通过认证并形成稳定供应关系,便不易被替换。公司作为国内该领域的先行者,已与国内主要晶圆制造厂商建立了合作关系,完成了多款设备的产线验证与导入。这种先发优势和客户信任是后来者难以在短期内逾越的障碍。从行业格局看,全球半导体检测和量测设备市场长期被以科磊半导体(KLA)为首的前五大海外企业垄断,合计市场份额超过70%。在此背景下,中科飞测作为国内龙头,其产品在本土主流产线的验证与批量应用,是国产替代进程中的实质性突破,也为其赢得了独特的市场地位。 从经营质量与同业对标来看,公司的优势与挑战并存。与国内其他半导体设备平台型公司(如北方华创、中微公司)相比,中科飞测的营收规模尚处成长期(2025年营收20.53亿元),但其专注于量检测这一细分赛道,毛利率(49.93%)在A股半导体设备公司中处于较高水平,这反映了其技术密集型产品特性及一定的定价能力。然而,公司2025年归母净利润为0.59亿元,净利率仅为2.86%,显著低于部分同行,这主要源于公司为保持技术领先和产品迭代而持续进行的高强度研发投入,以及规模效应尚未完全释放。这是其当前经营质量的潜在短板,也是成长型科技公司的典型特征。 展望未来,公司的成长与半导体产业的多重结构性趋势紧密相连。首先,国产替代是最直接的驱动力。在外部环境与供应链安全考量下,国内晶圆厂对国产设备的采购意愿和验证速度显著提升,为中科飞测提供了广阔的存量替代与增量市场空间。其次,先进制程的演进(如FinFET、GAA)和先进封装技术(如Chiplet)的发展,对工艺控制精度提出了更高要求,检测与量测设备的需求量和技术复杂度将倍增,这正是公司技术储备所瞄准的方向。此外,AI芯片、汽车电子等新兴应用带来的半导体需求增长,也间接拉动了对质量控制设备的需求。 综合而言,中科飞测的核心竞争力在于其在前道量检测这一高技术壁垒赛道的深度聚焦、构建的“设备+软件+服务”一体化解决方案能力、以及通过长期研发积累形成的多项国际领先核心技术。同时,公司已建立起的客户认证壁垒和在国内市场的先发优势,使其成为半导体设备国产替代浪潮中的关键参与者。尽管当前面临净利率较低、与海外巨头规模差距悬殊等挑战,但其清晰的战略定位和扎实的技术根基,为其在行业持续增长和国产化深化的背景下实现长期发展奠定了坚实基础。
类别来源摘要
formal_news东方财富公告大全/交易所公告镜像(AKShare)ESG公告;用于补充年报之后的正式披露,不覆盖年报硬数据。
formal_news东方财富公告大全/交易所公告镜像(AKShare)一季度报告全文;用于补充年报之后的正式披露,不覆盖年报硬数据。
formal_news东方财富公告大全/交易所公告镜像(AKShare)年度报告全文;用于补充年报之后的正式披露,不覆盖年报硬数据。
formal_news东方财富公告大全/交易所公告镜像(AKShare)年度报告摘要;用于补充年报之后的正式披露,不覆盖年报硬数据。
formal_news东方财富公告大全/交易所公告镜像(AKShare)调研活动;用于补充年报之后的正式披露,不覆盖年报硬数据。
industry_dataSEMISEMI口径用于前道/后道设备、晶圆厂投资和区域设备支出的行业背景;设备、材料、零部件公司重点引用。
industry_dataSemiconductor Industry Association (SIA)SIA/WSTS口径用于跟踪全球半导体销售额和区域景气,不写入公司财务报表;作为半导体景气度背景。
industry_dataWorld Semiconductor Trade Statistics (WSTS)WSTS市场预测用于补充半导体大类景气、产品结构和区域需求判断;预测口径需与实际披露分层展示。
industry_data国家统计局数据查询国家统计局数据查询系统用于复核中国集成电路产量等宏观数据;本轮记录入口与口径,不编造未结构化数值。
competitor_dataAKShare + 本地步骤一年报硬数据{"benchmark_scope": "competitive_landscape", "company_name": "中科飞测", "stock_code": "688361.SH", "listed_market": "A股", "business_category": "量检测", "positioning": "前道检测和量测设备", "financial_period": "2025", "revenue_yuan": 2053298171.74, "net_profit_parent_yuan": 58652552.17, "gross_margin": 0.49927197…
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competitor_dataAKShare + 本地步骤一年报硬数据{"benchmark_scope": "competitive_landscape", "company_name": "芯源微", "stock_code": "688037.SH", "listed_market": "A股", "business_category": "涂胶显影/清洗", "positioning": "Track和清洗设备", "financial_period": "2026-03-31", "revenue_yuan": 331000000.0, "net_profit_parent_yuan": 3508900.0, "gross_margin": 0.46…
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competitor_dataAKShare + 本地步骤一年报硬数据{"benchmark_scope": "domestic_leader", "company_name": "北方华创", "stock_code": "002371.SZ", "listed_market": "A股", "business_category": "前道设备平台", "positioning": "刻蚀、薄膜、清洗等平台型设备", "financial_period": "2026-03-31", "revenue_yuan": 10323000000.0, "net_profit_parent_yuan": 1635000000.0000002, "gross_marg…

12. 战略规划

观点
战略规划
主题内容
战略规划发展战略等前瞻性陈述,不构成公司对投资者的实质承诺, 请投资者注意投资风险。
战略规划未来发展趋势 从技术路线原理上看,检测和量测包括光学检测技术、电子束检测技术和 X 光量测技术 等。在相同条件下,光学技术的检测速度比电子束检测技术快,速度可以较电子束检测技术快 1,000 倍以上,而 X 光量测技术主要应用于特定金属成分测量和超薄膜测量等特定的领域,适用 场景相对较窄。光学检测技术、电子束检测技术和 X 光量测技术的具体情况如下表所示: 技术名称 光学检测技术 电子束检测技术 X 光量测技术 主要内容 基于光学原理,通过对光 信号进行计算分析以获得 检测结果,具有速度快、 精度高,无损伤的特点 通过聚焦电子束扫描样片表面产生 样品图像以获得检测结果,具有精 度高、速度较慢的特点,通常用于 部分线下抽样测量部分关键区域 基于 X 光的穿透 力强及无损伤特性 进行特定场景的测 量 先进制程 工艺应用 情况 应用于 28nm 及以下的全 部先进制程。光学检测技 术因其特点,目前广泛应 用于晶圆制造环节 应用于 28nm 及以下的全部先
战略规划未来发展 方向 通过提高光学分辨率,并 结合图像信号处理算法, 进一步提高检测精度 提升检测速度,提高吞吐量,由单 一电子束向多通道电子束技术发展 基于 X 光的穿透 性特性,扩大应用 的场景范围 注:根据公开信息一般将 28nm 作为成熟制程和先进制程的分界线 半导体质量控制设备是集成电路生产过程中核心设备之一,涉及对集成电路制造的生产过程 进行全面质量控制和工艺检测,对设备的灵敏度、速度均有较高的要求。结合三类技术路线的特 点,应用光学检测技术的设备可以相对较好实现有高精度和高速度的均衡,并且能够满足其他技 术所不能实现的功能,如三维形貌测量、光刻套刻测量和多层膜厚测量等应用,进而使得采用光 学检测技术设备占多数。根据 YOLE 数据统计,2025 年全球半导体检测和量测设备市场中,应用 光学检测技术、电子束检测技术及 X 光量测技术的设备市场份额占比分别为 76.6%、17.7%及 3.2%, 应用光学检测技术的设备占比具有领先优势,电子束检
战略规划发展战略,在检测和量测设备的研发中,公司攻克了多项设备关 键模块自主化开发难题,技术创新能力得到显著提升;在智能软件产品研发中,公司将人工智能 和大数据技术应用到半导体质量控制数据上,形成了一系列提升高端半导体制造良率的软件产品。 目前,公司已形成深紫外成像扫描技术、高精度多模式干涉量测技术、基于参考区域对比的缺陷 识别算法技术等多项核心技术,上述核心技术成功应用于公司各系列产品,为公司创造了良好的 经济效益。截至报告期末,公司拥有专利 789 项,其中发明专利 314 项,并承担了国家级、省级、 市级重点专项研发任务,具备可持续的研发创新能力,在行业竞争中拥有较强的技术优势。 2、资深和优秀的研发团队 公司坚持自主研发,是国内半导体质量控制领域的领军企业。自成立以来,公司培养和吸引 了一大批经验丰富的光学、算法、软件、机电自动化等方面的专家,构成公司研发的中坚力量。 截至 2025 年 12 月 31 日,公司研发团队 656 人,构筑起了跨专业
战略规划未来发展的影响 □适用 √不适用 6、 其他说明 □适用 √不适用 四、风险因素 (一) 尚未盈利的风险 □适用 √不适用 (二) 业绩大幅下滑或亏损的风险 □适用 √不适用 (三) 核心竞争力风险 √适用 □不适用 为满足下游客户对半导体质量控制领域不断发展的产品和技术要求,公司需要持续高水平 研发投入以推动产品升级换代,进一步巩固并提升核心竞争力和竞争优势。然而,如果公司的技

13. 客户与收入集中度

业务
年度排名客户金额(元)占比
2025前五名客户合计751,104,900.00036.580%
20251客户 1179,489,700.0008.740%
20252客户 2168,620,100.0008.210%
20253客户 3156,195,200.0007.610%
20254客户 4142,422,800.0006.940%
20255客户 5104,377,100.0005.080%

14. 供应链与原材料

链条
年度排名供应商金额(元)占比
2025前五名供应商合计686,009,500.00034.740%
20251供应商 1205,403,000.00010.400%
20252供应商 2148,271,500.0007.510%
20253供应商 3137,604,900.0006.970%
20254供应商 4122,368,500.0006.200%
20255供应商 572,361,600.0003.660%

15. 资产负债表

财务
生成口径:由本公司本地财务三表与主营业务工作簿导入;金额单位:亿元;数据列最新在前;已删除所有年度金额均为空的科目和非金额元数据行。
【合并资产负债表(亿元)】
指标(金额口径:亿元)20252024202320222021202020192018
货币资金18.2286.2715.8742.4032.0481.2880.8400.366
交易性金融资产5.5256.8850.4011.7060.500
应收票据及应收账款7.2463.6001.6361.4390.9441.1660.4100.194
应收票据0.0200.0130.0140.1250.0200.0760.0230.054
应收账款7.2263.5871.6221.3150.9241.0910.3870.140
应收款项融资0.2160.5330.205
预付款项0.7820.7910.8410.5050.2700.0750.0350.075
其他应收款0.1750.1330.0670.0760.0590.0310.0480.017
其他应收款(合计)0.1750.1330.0670.0760.0590.0310.0480.017
存货26.98817.46811.1208.6135.3871.7950.7940.515
一年内到期的非流动资产4.1240.641
其他流动资产1.5520.8170.7400.7020.4000.1181.1330.181
流动资产合计65.12930.47427.35214.1029.5856.2813.7611.348
其他债权投资3.2153.053
其他权益工具投资0.6000.5000.500
固定资产原值8.0832.4161.5161.1650.1590.0910.0440.023
累计折旧0.7550.3390.1710.0770.0420.0200.0100.005
固定资产净值7.3282.0771.3451.0880.1170.0710.0340.018
在建工程合计2.6772.9640.3170.0050.0260.014
在建工程2.9640.3170.0050.0260.014
固定资产净额7.3282.0771.3451.0880.1170.0710.0340.018
固定资产清理0.006
固定资产及清理合计7.3342.0771.3451.0880.1170.0710.0340.018
合同资产0.2930.2210.1890.1580.0770.101
使用权资产1.0010.9000.2980.5070.443
无形资产1.5130.8100.8010.3500.0500.0370.0300.033
长期待摊费用0.3530.3900.2830.2100.2640.1320.0790.046
递延所得税资产0.3470.1640.0510.082
其他非流动资产0.4140.5850.2810.2620.3420.0030.005
非流动资产合计14.23911.6056.9282.5041.2420.2440.1430.116
资产总计79.36842.08034.28016.60610.8286.5253.9041.463
短期借款3.1340.0930.5001.6460.9960.1950.021
应付票据及应付账款6.9264.4942.0581.6391.5050.6180.3000.224
应付票据2.9221.1500.4870.5820.122
应付账款4.0033.3441.5711.0561.3830.6180.3000.224
预收款项0.0960.008
合同负债5.6546.2924.4024.8481.5560.322
应付职工薪酬1.1610.8330.5740.4370.2360.1200.1060.058
应交税费0.1350.1300.0300.1310.0130.0050.0040.000
应付利息0.000
其他应付款2.3131.6320.2140.2000.0780.0890.2250.183
其他应付款合计2.3131.6320.2140.2000.0780.0890.2250.183
一年内到期的非流动负债1.7710.3480.1740.1960.148
其他流动负债0.1820.2080.5820.6350.2210.043
流动负债合计21.27514.0318.5339.7304.7541.1960.9270.493
长期借款4.2831.3090.4300.100
租赁负债0.7140.6540.1660.3510.320
预计非流动负债0.3040.6180.4610.1920.1310.0740.0210.020
长期递延收益1.3890.9510.5300.5590.0750.2840.2690.083
递延所得税负债0.2060.1410.0510.078
非流动负债合计6.8963.6731.6371.1800.5260.3570.3900.103
负债合计28.17117.70310.17110.9115.2801.5541.3170.596
实收资本(或股本)3.5023.2003.2002.4002.4002.4000.7350.567
资本公积45.12119.26418.4322.2212.1952.1544.0391.512
其他综合收益0.074-0.0020.0010.0000.0030.001-0.002-0.001
盈余公积0.3580.2450.2450.0860.058
未分配利润2.1421.6692.2320.9870.8920.416-2.184-1.210
归属于母公司股东权益合计51.19724.37624.1105.6955.5484.9712.5870.867
所有者权益(或股东权益)合计51.19724.37624.1105.6955.5484.9712.5870.867
负债和所有者权益(或股东权益)总计79.36842.08034.28016.60610.8286.5253.9041.463

16. 利润表

财务
生成口径:由本公司本地财务三表与主营业务工作簿导入;金额单位:亿元;数据列最新在前;已删除所有年度金额均为空的科目和非金额元数据行。
【合并利润表(亿元)】
指标(金额口径:亿元)20252024202320222021202020192018
营业总收入20.53313.8048.9095.0923.6062.3760.5600.299
营业收入20.53313.8048.9095.0923.6062.3760.5600.299
营业总成本20.70614.7648.3585.8143.4762.2961.7460.998
营业成本10.2817.0544.6532.6141.8401.3990.3700.228
营业税金及附加0.0460.0490.0370.0090.0070.0020.0010.001
研发费用6.5614.9802.2822.0580.9500.4620.5600.351
销售费用1.5191.0580.5820.5380.3160.1850.1200.084
管理费用2.1211.6260.8850.6000.3970.2540.6770.334
财务费用0.178-0.003-0.081-0.005-0.035-0.0050.0180.001
利息费用0.1780.0570.0540.0790.0250.0070.0140.001
投资收益0.1220.2010.0750.0060.0170.0280.0010.015
公允价值变动收益0.0050.035-0.0010.0010.0060.000
其他收益1.6861.2400.9050.9980.4830.3790.2350.235
资产减值损失-1.099-0.444-0.198-0.137-0.094-0.079-0.012-0.074
信用减值损失-0.101-0.104-0.030-0.018-0.001-0.015-0.011
资产处置收益0.006-0.0000.0030.003-0.000
营业利润0.445-0.0661.3390.1300.5350.400-0.973-0.524
营业外收入0.0040.0030.0760.0030.0000.0000.0000.000
营业外支出0.0040.0010.0070.0140.0010.0040.0020.033
利润总额0.445-0.0651.4080.1190.5340.396-0.975-0.557
所得税费用-0.1410.0510.005-0.001
净利润0.587-0.1151.4030.1200.5340.396-0.975-0.557
持续经营净利润0.587-0.1151.4030.1200.5340.396-0.975-0.557
归属于母公司所有者的净利润0.587-0.1151.4030.1200.5340.396-0.975-0.557
其他综合收益0.076-0.0020.000-0.0020.0010.003-0.001-0.002
归属于母公司所有者的其他综合收益0.076-0.0020.000-0.0020.0010.003-0.001-0.002
(一)以后不能重分类进损益的其他综合收益0.075
其他权益工具投资公允价值变动0.075
(二)以后将重分类进损益的其他综合收益0.001-0.0020.000-0.0020.0010.003-0.001-0.002
外币财务报表折算差额0.001-0.0020.000-0.0020.0010.003-0.001-0.002
综合收益总额0.662-0.1181.4040.1170.5360.399-0.975-0.558
归属于母公司所有者的综合收益总额0.662-0.1181.4040.1170.5360.399-0.975-0.558
基本每股收益0.180-0.0400.4900.0500.2200.340
稀释每股收益0.180-0.0400.4900.0500.2200.340

17. 现金流量表

财务
生成口径:由本公司本地财务三表与主营业务工作簿导入;金额单位:亿元;数据列最新在前;已删除所有年度金额均为空的科目和非金额元数据行。
【合并现金流量表(亿元)】
指标(金额口径:亿元)20252024202320222021202020192018
销售商品、提供劳务收到的现金18.52914.8999.3528.3425.7202.0410.4930.204
收到的税费返还0.0840.0000.0130.3050.0050.0260.004
收到的其他与经营活动有关的现金2.2861.7071.4332.3810.3410.5020.8140.533
经营活动现金流入小计20.89816.60610.79811.0286.0652.5691.3110.737
购买商品、接受劳务支付的现金19.60812.5596.3585.6265.0272.2100.5780.597
支付给职工以及为职工支付的现金6.7664.8803.1722.2861.2150.6730.4620.305
支付的各项税费0.1950.2860.3410.2340.0080.0030.0010.001
支付的其他与经营活动有关的现金2.9502.0081.4492.2120.8140.5500.5550.415
经营活动现金流出小计29.52019.73311.31910.3587.0643.4361.5951.318
经营活动产生的现金流量净额-8.622-3.127-0.5200.670-0.999-0.867-0.285-0.580
收回投资所收到的现金19.19627.3809.8102.1006.4008.3080.1001.150
取得投资收益收到的现金0.0860.1450.0370.0060.0230.0290.0000.014
处置固定资产、无形资产和其他长期资产所收回的现金净额0.0010.0000.000
收到的其他与投资活动有关的现金0.143
投资活动现金流入小计19.42627.5259.8472.1066.4238.3370.1001.164
购建固定资产、无形资产和其他长期资产所支付的现金5.7662.6551.4811.1700.6110.1600.0550.055
投资所支付的现金24.94619.34522.0651.7005.1008.5301.5001.250
支付的其他与投资活动有关的现金0.1380.251
投资活动现金流出小计30.84922.00023.7972.8705.7118.6901.5551.305
投资活动产生的现金流量净额-11.4235.524-13.950-0.7640.712-0.352-1.455-0.141
吸收投资收到的现金25.32117.2491.9542.2000.200
取得借款收到的现金8.9141.0251.3432.0660.9940.3300.030
收到其他与筹资活动有关的现金0.0150.1600.001
筹资活动现金流入小计34.2351.02518.5922.0661.0091.9542.6900.231
偿还债务支付的现金2.1180.5022.0571.4160.2940.0570.009
分配股利、利润或偿付利息所支付的现金0.1320.4770.0350.0590.0060.0070.0140.001
支付其他与筹资活动有关的现金0.3800.2930.5310.1990.1620.0060.2860.005
筹资活动现金流出小计2.6291.2712.6221.6740.1680.3080.3560.015
筹资活动产生的现金流量净额31.606-0.24615.9700.3920.8411.6462.3340.216
汇率变动对现金及现金等价物的影响74,291,957.000%-145,101,874.000%31,605,691.000%-72,983,487.000%-16,771,748.000%-26,481,690.000%9,814,910.000%2,935,718.000%
现金及现金等价物净增加额11.5682.1371.5030.2900.5520.4240.595-0.505
期初现金及现金等价物余额5.7443.6072.1041.8141.2620.8380.2430.748
现金的期末余额17.3135.7443.6072.1041.8141.2620.8380.243
现金的期初余额5.7443.6072.1041.8141.2620.8380.2430.748
期末现金及现金等价物余额17.3135.7443.6072.1041.8141.2620.8380.243

18. 每股指标

财务
EPS来自本地利润表;股本相关每股指标待补股本口径后计算。
年度基本EPS稀释EPS每股净资产每股经营现金流ROE现金分红/备注
20250.1800.180EPS来自本地利润表;每股净资产/每股经营现金流待用股本口径计算。
2024-0.040-0.040EPS来自本地利润表;每股净资产/每股经营现金流待用股本口径计算。
20230.4900.490EPS来自本地利润表;每股净资产/每股经营现金流待用股本口径计算。